品牌：美国Asylum Research              型号：MFP-3D-SA                 存放地点：科技馆116室

  技术指标：

（1）XY扫描器范围不小于80 μm×80 μm。

（2）Z轴扫描器范围不小于10 μm。

（3）扫描器带有闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音不大于150 pm，Z轴闭环传感器噪音不大于35 pm。

  主要功能：

（1）纳米摩擦学研究；（2）表面形貌扫描；（3）表面性能测试。

  测试预约链接或二维码：

https://dxyq.nju.edu.cn/physics/eqms-ui/index.html#/login